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儀器簡介：美國布魯克DEKTAK XT適用于納米尺度的表面輪廓測量、薄膜厚度測量、表面形貌測量、應力測量和平整度等精密測量，應用于微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫療、科學研究和材料科學領域。
儀器參數：測量重復性：5?，1δ（10000?的標準臺階） 最大掃描長度：55mm 標準垂直測量范圍：1mm 掃描方式：線性掃描（基于精確光學平面的樣品臺）
測試項目：薄膜厚度、平整度
測試3個點位 （測試周期快，1-2個工作日，即到即測）
樣品要求：塊狀固體或者薄膜，長寬最好在10mm×10mm（不做特殊要求），高度（厚度）不超過垂直測量范圍1mm
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