X射線(xiàn)光電子能譜儀測(cè)試

適用領(lǐng)域

    XPS被廣泛應(yīng)用于分析無(wú)機(jī)化合物、合金、半導(dǎo)體、聚合物、元素、催化劑、玻璃、陶瓷、染料、紙、墨水、木材、化妝品、牙齒、骨骼、移植物、生物材料、油脂、膠水等。

面向?qū)W科

    XPS是分析研究固體表面元素成份、元素分布、元素價(jià)態(tài)和化學(xué)態(tài)等表面化學(xué)特性方面的重要儀器，原則上能分析除H、He以外的所有元素，尤其適用于分析材料表面元素的化學(xué)價(jià)等，檢測(cè)靈敏度0.1%～1%原子濃度比。 XPS適于分析固體樣品，形狀不限，粉末樣品也可以分析，但以表面光滑的片狀為好，如納米薄膜材料，催化劑，微電子材料，高分子材料，生物材料，金屬材料，半導(dǎo)體材料，無(wú)機(jī)非金屬材料等。原則上樣品表面應(yīng)維持欲分析狀態(tài)。對(duì)表面污染的樣品可采取適當(dāng)措施，予以清潔，安裝時(shí)應(yīng)使樣品與樣品托有良好的電接觸，具有放射性、揮發(fā)性的樣品不宜分析。

樣品要求

    1) 粉末樣品提供10-20mg；     2) 塊狀/薄膜：長(zhǎng)寬厚不超出5*5*3mm。如果樣品尺寸大于5*5*3mm，會(huì)按尺寸增加費(fèi)用！超過(guò)尺寸提前聯(lián)系；     3)樣品必須干燥，樣品制備好以后，盡可能進(jìn)行真空密封，減少樣品吸附空氣中的污染物，對(duì)于某些元素的測(cè)試，會(huì)有影響；     4)原子百分含量小于5%的元素可能測(cè)不出明顯信號(hào)，元素窄譜測(cè)試默認(rèn)最強(qiáng)軌道，H、He元素不可以測(cè)試，放射性元素提前溝通，元素Li-Mg測(cè)試1s軌道，Al-Zn測(cè)試2p軌道，Hf-Cm測(cè)試4f軌道，如有特殊要求請(qǐng)備注；     5)測(cè)磁性樣品，請(qǐng)送樣時(shí)提前告知；     6)殊需求：樣品含S，F(xiàn)，I等元素單質(zhì)不能測(cè)試或其他特殊需求，請(qǐng)聯(lián)系項(xiàng)目經(jīng)理；     7)測(cè)試需要樣品用導(dǎo)電膠固定在樣品臺(tái)上，所以測(cè)過(guò)的粉末樣品沒(méi)法回收，塊體樣品回收可能也受到污染或者破壞，建議盡量不回收樣品；     8)特殊處理的樣品，聯(lián)系項(xiàng)目經(jīng)理具體商議。

收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)

    1) 總譜+分譜（包括C元素3個(gè)內(nèi)）：140元/樣；     2) 刻蝕/濺射（≤30nm為一次刻蝕）：60元/次；     3) 變溫XPS（可測(cè)試溫度范圍室溫-800K）：400元/溫度/樣品     注：每增加一個(gè)元素測(cè)試費(fèi)用加收30元；如無(wú)注明測(cè)試軌道為默認(rèn)軌道，每個(gè)軌道計(jì)為一個(gè)關(guān)注元素，測(cè)價(jià)帶譜+50元；單獨(dú)測(cè)價(jià)帶譜100元/樣，特殊樣品費(fèi)用另議（特殊形狀、尺寸比較大、強(qiáng)磁性樣品）

測(cè)試儀器

    儀器名稱(chēng)    X射線(xiàn)光電子能譜儀     儀器型號(hào)    Thermo Scientific ESCALAB 250 XI / ESCALAB 250 / Thermo Scientific K-Alpha+     儀器廠(chǎng)家    美國(guó)ThermoFisher Scientific     關(guān)  鍵 字    XPS、X射線(xiàn)光電子能譜分析、XPS刻蝕     儀器功能：         1) 固體樣品的表面成分分析、化學(xué)態(tài)分析，取樣深度約為1-10nm；         2) 材料中元素的深度分析，角分辨方式，氬離子與氬團(tuán)簇離子刻蝕方式；         3) 可進(jìn)行樣品的原位處理，如原位加熱、冷卻、斷裂。     儀器附件：離子散射譜（ISS），反射電子能量損失譜（REELS），單色化XPS（Al靶），雙陽(yáng)極（Mg/Al靶），  氬離子團(tuán)簇離子槍?zhuān)訜?冷卻臺(tái)，樣品斷裂臺(tái)。     

儀器參數(shù)

    1) 成像分辨率小于3 μm；     2) 極限能量分辨率為0.43eV；     3) 分析室真空度優(yōu)于5×10-10 mbar；     4) 能量分析范圍為0-5000eV；     5) 通過(guò)能范圍為1-400eV。

測(cè)試條件及要求

    1) 室溫測(cè)試還是變溫測(cè)試，變溫測(cè)試請(qǐng)?zhí)峁┬枰臏囟龋?     2) 樣品元素組成；     3) 需要測(cè)試的元素及軌道；